特稿丨亚洲芯片制造商着手应对氦气短缺

虽然伊朗和美国已同意停火，但条件是保证通过霍尔木兹海峡的安全通行，半导体公司则通过一系列战略回应来应对氦气问题。

卡塔尔的拉斯拉凡工业城，供应全球约三分之一的产出，自2026年3月初伊朗空袭以来基本处于停机状态。

据报道，这一中断已导致全球供应量估计减少了27–30%，使现货价格在数周内上涨了40%至100%。

对于半导体行业来说，超高纯度（6N或更高）氦气在多个关键步骤中至关重要。

氦气独特的化学惰性、气体中最高的热导率和最小原子半径的结合，使其在晶圆背面冷却中不可替代，用于光刻和蚀刻，在先进工艺工具中保持稳定的热和真空状态，用于泄漏检测、气体净化，以及作为等离子体增强化学气相沉积（CVD）和极紫外光刻（EUV）中的载体气体。即使是微量杂质或纳米尺度的温度波动，也可能显著降低产率。

由于先进三维堆叠架构所需的反复高温蚀刻和沉积工艺，存储器制造对氦的消耗尤为高。